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先进陶瓷材料:等离子刻蚀机腔体材料的优选-广东夏阳精细陶瓷科技有限公司
来源:XYC | 作者:XYC | 发布时间: 2022-07-07 | 1842 次浏览 | 分享到:
一般可采用高纯Al2O3涂层作为刻蚀腔体和腔体内部件的防护材料.
       
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