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SIC陶瓷精密部件：为新一代的光刻机注入“灵魂”
来源:XYC | 作者:XYC | 发布时间: 2022-07-01 | 2635 次浏览 | 分享到:
化硅以其优异的物理化学性能，在集成电路关键装备用结构件领域具有广阔的应用前景，中国建材总院在该领域已经进行了初步的研制与探索并取得了良好的成果。

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与探索并取得了良好的成果。


       
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