₂粉体。通过控制硅酸钠浓度制备出粒径分布均匀、平均粒径为150nm，近似球形的非晶SiO₂颗粒。此方法工艺流程简单、容易操作及对设备要求低，可以解决国内多晶硅产业发展的副产物问题，产生较高的经济效益。

10、微乳液法

微乳液法是利用两种互不相溶的溶剂在表面活性剂的作用下形成一个均匀的乳液，从乳液中析出固相。使成核、生产、聚结、团聚等过程局限在一个微小的球形液滴内，形成球形颗粒，避免了颗粒间进一步的团聚。

利用微乳液法制备SiO₂的研究者们大多以正硅酸乙酯（TEOS）为硅源，通过TEOS分子扩散，透过反胶束界面膜向水核内渗透，继而发生水解缩合反应制得SiO₂。此法制备SiO₂具有粒度分布窄、粒径可控和分散性好等优点。

 

骆锋等人以硅酸盐溶液/环己烷/聚乙二醇辛基苯基醚/正戊醇体系的微乳液反应为基础，以浓硫酸为沉淀剂，采用微乳液法制备非晶态球形纳米SiO₂粉体，粉体的粒径为15-35nm、比表面积达580-630m²/g。

罗洁等人采用乙醇、水、十六烷基三甲基溴化铵形成反相微胶束体系，加入氨水和TEOS，制备出均匀度高、分散性好的介孔SiO₂微球，比表面积为952.4m²/g，平均孔径为2.0nm。此法克服了化学共沉淀法中易出现的硬团聚及颗粒分布不均匀的缺点。

J. Teofil 等人以环己烷做有机相、非离子表面活性剂做乳化剂，在乳液中通过沉淀技术从偏硅酸钠和盐酸溶液中制备球形SiO₂粉末，生成平均粒径小、性能均一、团聚少且活性高、表面积为340-390m²/g的SiO₂。

11、喷雾法

喷雾法是将溶液通过各种物理手段进行雾化获得超微粒子的一种化学与物理相结合的方法。它的基本过程是溶液的制备、喷雾、干燥、收集和热处理。此方法特点是颗粒分布比较均匀，但颗粒尺寸为亚微米到10μm，是一种合成粒径可控纳米粒子氧化物的新方法。

Wean等通过喷雾干燥法制备出粒径2-41μm且中空球形的纳米SiO₂粒子，其余生物相容性较好，在吸入光动力治疗中可用作药物运载工具。

Alan G.Howard等利用喷雾干燥技术奖正硅酸乙酯前驱体喷到正在搅拌的氨水表面，制备出粒径为250nm的球形SiO₂粒子，此方法可高效合成Stober型粒子。
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